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A Study on Polyelectrolyte at Ceria-water interface for STI CMP
김사라, 소재현, 김남수, 이동준, 양승만
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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기계·화학적인 연마에서 슬러리의 특성에 따른 나노토포그래피의 영향과 numerical 시뮬레이션|Effect of Slurry Characteristics on Nanotopography Impact in Chemical Mechanical Polishing and Its Numerical Simulation
Takeo Katoh, Min-Seok Kim, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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STI CMP용 나노 세리아 슬러리의 Non-Prestonian 거동에서 연마 입자의 크기와 계면활성제의 농도가 미치는 영향|Effects of Abrasive Size and Surfactant Concentration on the Non-Prestonian behavior of Nano-Ceria Slurry for STI CMP
김성준, Takeo Katoh, 강현구, 백운규, 박재근
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 연마입자의 결정특성에 따른 평탄화 효율의 의존성|Dependency of Planarization Efficiency on Crystal Characteristic of Abrasives in Nano Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
Hyun Goo Kang, Takeo Katoh, Sung Jun Kim, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Investigation of the Rheological Properties of Microencapsulated PCM Slurry for Use in Cold Energy Transportation Media
최준규, 원혜진, 김필수, 이재구, 양현수
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Modeling and prediction of polymer properties for HDPE slurry process with Ziegler-Natta catalysts
오상준, 이진석, 박선원
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Characteristic Evaluation of Slurry by Constant-Pressure Filtration Process(Effects of Solid Concentration on Slurry Characteristics)
김효정, JunIchiro Tsubaki, Tadamitu Sugimoto, Takamasa Mori
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Analysis of Settlement-Condensation mechanism of Dense Slurry
김효정, JunIchiro Tusbaki, Tadamitu Sugimoto, Takamasa Mori
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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의약 중간체의 결정화 공정에서 결정형태와 입도분포 제어
정왕모, 김상훈, 권영운, 김영대
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Selective synthesis of alkoxyphenol over Cs Ion-Exchanged Zeolites near a critical condition
박정제, 이수출, 김재창
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
