화학공학소재연구정보센터
번호 제목
26 HBr/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 건식식각
민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
25 감광성 인광 고분자 OLED 재료의 합성 및 전기광학 특성
이효정, 김정무, 김효진, 김현석, 김순학, 허영준, 박이순
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회
24 Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
민수련, 이장우, 조한나, 정지원
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
23 C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성
조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
22 HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성
민수련, 정지원, 이장우, 조한나
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
21 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 IrRu 박막의 식각 특성
이장우, 박익현, 정지원
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회
20 Etch characteristics of GeSbTe thin films by inductively coupled plasma reactive ion etching
박익현, 이장우, 정지원
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회
19 차세대 자성 메모리에의 응용을 위한 나노미터 크기의 magnetic tunnel junction 패터닝
신별, 정지원, 박익현
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회
18 E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각
박익현, 이장우, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
17 고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각
민수련, 정지원, 이장우, 박익현
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회