번호 | 제목 |
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26 |
HBr/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 건식식각 민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
25 |
감광성 인광 고분자 OLED 재료의 합성 및 전기광학 특성 이효정, 김정무, 김효진, 김현석, 김순학, 허영준, 박이순 한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
24 |
Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각 민수련, 이장우, 조한나, 정지원 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
23 |
C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성 조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
22 |
HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성 민수련, 정지원, 이장우, 조한나 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
21 |
고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 IrRu 박막의 식각 특성 이장우, 박익현, 정지원 한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
20 |
Etch characteristics of GeSbTe thin films by inductively coupled plasma reactive ion etching 박익현, 이장우, 정지원 한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
19 |
차세대 자성 메모리에의 응용을 위한 나노미터 크기의 magnetic tunnel junction 패터닝 신별, 정지원, 박익현 한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
18 |
E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각 박익현, 이장우, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
17 |
고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각 민수련, 정지원, 이장우, 박익현 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |