화학공학소재연구정보센터
번호 제목
16 OES를 이용한 평판형 유도결합 BCl3/SF6 플라즈마 식각 특성 연구|A Study of Etching Characteristic in Planar Inductively Coupled BCl3/SF6 Plasma by OES
박민영, 이제원, 장수욱, 노호섭, 조관식, 박강수, 박건수, 윤진성
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
15 평판형 유도결합 BCl3/CF4 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식 식각|Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled BCl3/CF4 Plasma
유승열, 장수욱, 박민영, 이장희, 노호섭, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
14 유도 결합 플라즈마 반응성 이온식각을 이용한 NbOx nanodot의 식각 메카니즘 연구
박익현, 이장우, 정지원
한국공업화학회 2004년 가을 학술대회
13 하드 마스크를 이용한 CoZrNb과 CoTb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
신 별, 박익현, 정지원
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
12 CoTb과 CoZrNb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
신 별, 박익현, 정지원
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
11 Femtosecond laser의 조사에 의한 실리카 유리의 굴절률변화.|The changed refractive index of Ge-BPSG by Femtosecond laser.
조기현, 송명곤, 신동욱, 이건준, 이영백
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
10 유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 Er 첨가된 광도파막 식각 특성 연구|A study on the etching characteristics of Er doped optical waveguide films using Inductively Coupled Plasma Etching
송명곤, Jiehe Sui, 신동욱
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
9 C2F6 및 NF3 유도결합플라즈마를 이용한 SiO2 : Ge 식각에관한 연구|Inductively coupled plasma Reactive ion etching of Ge doped silica glass using C2F6 and NF3
이 석 룡, 문 종 하, 김 원 효, 이 병 택
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
8 ZnO박막의 Cl2/Ar, Cl2/H2/Ar, CH4/H2/Ar을 이용한 플라즈마 식각|Dry etching of ZnO thin films in Cl2/Ar,Cl2/H2/Ar and CH4/H2/Ar plasmas
박진수,한윤봉|Jin Soo Park,Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회
7 NiFe, CoFe 박막의 습식 식각 특성|Wet etch characteristics of NiFe,CoFe thin films
변요한,김혜인,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Chee Won Chung
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회