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MEMS Fabrication of Microchannel with Poly-Silicon Layer for Application to Microchip Electrophoresis
김태하, 이인택, 전명석, 이강택
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Effect of Alkaline Agent in Colloidal-Silica Slurry on Polysilicon Chemical-Mechanical Polishing Process.
Keum-Seok PARK, Myoung-Yoon LEE, Hyung-Soon PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Development of slurry for Ru Chemical Mechanical Planarization
In-Kwon Kim, Tae-Young Kwon, Jin-Goo Park, Hyung-Soon Park
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Remote Plasma ALD법을 이용한 코발트 금속유도 결정화법에 관한 연구
홍진원, 김명식, 이근우, 배규식
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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이온 샤워 도핑 된 Poly-Si의 reverse annealing 거동
진법종, 노재상
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Effects of the ion mass and the ion incident angle on etch rates in atomic scale etching
박창한, 이형무, 윤형진, 김태호, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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STI, Poly-Si CMP 공정 중의 연마입자 부착력 특성 평가
김진영, 홍의관, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과(Effects of hydrogen on crystallinity of Si thin films by RF magnetron sputtering)
서지민, 정민창, 명재민
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Low voltage operating ZnO thin-film transistors with Ni doped BaSrTiO3 high-K gate insulator for transparent and mobile electronics
김정웅, 김영웅, 최덕균, 김일두, 홍재민
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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P+/B+ 이온샤워 도핑 후 열처리 시 활성화 효율에 관한 연구
진법종, 이주열, 노재상
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
