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펄스 플라즈마 공정에서의 입자 코팅의 이론적 분석
김동주, 김교선
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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실란 펄스 플라즈마 공정에서의 화학 농도 변화에 대한 공정 변수의 영향
김동주, 김교선, Nasonoba Anna
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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ZnO 박막의 구조 및 광 특성에 미치는 스퍼터링 산소분압 및 플라즈마 세기효과|Effects of sputtering oxygen partial pressures and power on structural and optical properties ZnO films on SiO2/Si (001) substrates
한석규, 최준호, 심재호, 조형균, 김효진, 홍순구
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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SiNx 박막을 이용한 Si nanodot 형성에 관한 연구
이장우, 박익현, 정지원
한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |
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Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato) neodymium 을 이용한 Nd oxide 박막의 액체직접주입방식(DLI) 유기금속화학증착|Direct liquid injection metal organic chemical vapor deposition of Nd oxide films using Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato) neodymium
송문균, 이시우
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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원자층 증착 방법에 의한 실리콘 질화막 특성에 관한 연구|The Characteristics of Silicon Nitride Thin Film by Atomic Layer Deposition
천민호, 한창희, 김운중, 이원준, 이연승, 나사균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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단일 패널 LCoS 디스플레이를 위한 무기 배향막의 경사 증착 특성|Characteristics of inorganic alignment layer for single panel LCoS by obliquely deposition
이찬재, 김원근, 한정인, 이유진, 김민석
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Substrate의 높이에 따른 parylene 박막의 특성
윤인수, 박진호, 여석기, 윤덕선, 송민철
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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C4F8을 이용한 나노미터 두께를 가지는 Hot Embossing 용 마스터의 점착방지막 형성|(Nanometer Thick Fluorocarbon Films for Hot Embossing Master using C4F8)
김인권, 차남구, 이진형, 박진구
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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HMDSO를 이용한 PECVD 증착 SiOx필름의 제조 및 특성|Preparation and Characterization of SiOx films deposited by PECVD using HMDSO
김성룡, 민경호, 차원호, 이호영
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
