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Solid phase formation and stoichiometry of the plasma-enhanced atomic layer deposited Tantalum carbo-nitride films using TBTDET and hydrogen
송문균, 이시우
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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초기 진공 변화에 따른 ZnO:Ga 박막의 특성
김성연, 임진형, 방정식, 명재민
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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고온 산화에 의한 NiO 박막의 구조적 특성
김준호, 문진영, 김형훈, 이호성, 한원석, 조형균, 김홍승
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Electro-deposition으로 증착한 CdTe 태양전지의 특성변화
김정아, 정우광
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Effect of surface fluctuation with organic thin film transistors on polymer dielectrics
이화성, 조길원
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
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원자층 증착법을 이용한 Tantalum carbonitride 박막의 증착 및 특성 평가
송문균, 이시우
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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증착 온도 변화에 따른 ZnO:Ga 박막의 수소 열처리에 관한 특성(Effects of H2 ambient annealing in ZnO:Ga thin films deposited with different temperature)
김성연, 장현우, 방정식, 명재민
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Metal Organic Chemical Vapor Deposition법을 이용한 Ge 전구체의 증착특성연구
김봉준, 김선희, 이준기
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
장삼석, 허재성, 김범준, 진정근, 변동진
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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HMDS 소스와 C2H2 희석기체를 이용하여 PECVD로 증착한 비정질 SiC막의 유전상수 변화
조성혁, 최두진, 김태송
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
