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Fabrication and Microstructure Characterization of Fibrous Porous SiC-Si3N4/AlN composite Using Multi-pass Extrusion process
Shamiul Islam, Rajat Kanti Paul, Hee-Dong Jang, Byong-Taek Lee
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Superparamagnetic Si3N4-Fe containing ceramics prepared from polymer-metal complex
민경익, 박준홍, 김동표
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications
박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Fabrication of UV-nanoimprint stamp by using colloidal lithography
김태선, 정건영, 장윤희, 김상묵, 김기석, 이경미
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Synthesis and temperature dependence of photoluminescence in SiAlON type phosphors
류정호, 박윤곤, 이종면
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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CeO2 thin film deposition on SiO2 particles by MOCVD method for abrasive particles of CMP
안재희, 이관영
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Effects of Organic Additives in Ceria Slurry on Enhanced Oxide-to-Nitride Removal Selectivity in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
Byeong-Seog LEE, Hyun-Goo KANG, Kyung-Woong PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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MOCVD를 이용한 SiO2 나노 입자상의 CeO2 박막 증착
안재희, 이관영
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Reduction of Large Particles and Light Point Defects (LPD) by Aging and Selective Sedimentation Process in Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
Byong-Seog Lee, Hyun-Goo Kang, Kyung-Woong Park, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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실리콘 나이트라이드 완충층을 가지는 ZnO 박막의 특성 평가|Characterization of ZnO films with Si3N4 buffer on Si (001) substrates
정철원, 한석규, 심재호, 김홍승, 조형균, 김효진, 홍순구
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
