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PECVD Chamber 구조가 SiO2 박막 증착의 균일도에 미치는 영향에 관한 연구|Numerical Studies on Effect of Chamber Geometry on Uniformity of SiO2 Deposited by PECVD
김성재,김헌창,임계규|Seong Jae Kim,Heon Chang Kim,Key Kyu Lim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 Ge2Sb2Te5 박막의 증착|Deposition of Ge2Sb2Te5 thin films by DC magnetron sputtering
송영수,변요한,김혜인,정지원|Young Soo Song,Yo Han Byun,Hye In Kim,Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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강유전 Bi3.5A0.5Ti3O12 (A=La, Ce)의 합성 및 XRD를 이용한 구조분석|Synthesis and structure analysis of ferroelectric Bi3.5A0.5Ti3O12 (A=La, Ce) using XRD
전민구,김용일|Min Ku Jeon,Yong Il Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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Li1+xCoO2 의 합성조건과 특성에 관한 연구|Synthesis and characterization of Li1+xCoO2
라정인,황윤태,최청송|Jung-In La,Yun Tae Hwang,Cheong-Song Choi
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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기상 반응법에 의한 니오비움 산화물 나노 분말 제조|Synthesis of Niobium Oxide Nanoparticle by Gas Phase Reaction.
최재길,박종관,박균영|Jae Gil Choi,Jongkwan Park,Kyun Young Park
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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기상반응으로 제조된 Cobalt Nanoparticle의 입자 크기에 대한 공정조건의 영향|Effects of Process Condtions on the Size of Cobalt Nanoparticles Synthesized in Vapor Phase
박경애,김헌창,장희동,황대원,박균영|Kyoung Ae Park,Heon Chang Kim,Hee Dong Jang,Dae Won Hwang,Kyun Young Park
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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기상반응법에 의한 철-실리콘 합금 나노 분말 제조|Synthesis of Fe-Si Alloy Nanoparticles by Gas Phase Reaction
박종관,박균영|Jongkwan Park,Kyun Young Park
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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플라즈마 제트를 이용한 티탄산바륨 미세 분말 제조|Synthesis of the fine BaTiO3 powder using thermal plasma jet
한인수,박동화|In-Soo Hans,Dong-Wha Park
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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Remote plasma를 이용한 TiO2 박막 증착 및 특성분석|The characteristics of TiO2 thin film deposited by remote plasma
안경호,송소영,박동화|Kyoung-ho Ahn,So-young Song,Dong-wha Park
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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FBAR 소자용 Si Membrane 구조제작 및 ZnO 압전 박막 증착|The fabrication of membrane structure for FBAR and the deposition of ZnO piezoelectric thin film
임석진,김종성|Seok-Jin Lim,Jong Sung Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
