| 번호 | 제목 |
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INVESTIGATION OF THE FORMATION OF WOX DURING W CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION Palwasha Jalalzai, 박진구, Maneesh Kumar Poddar, 류헌열, 정연아, 김태곤 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Study of etching rate according to the type of oxidizers and concentration of each oxidizer in tungsten CMP 최지호, 김동협, 정기쁨, 박재근 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
