학술대회 목록보기 번호 제목 1 VHF 플라즈마 소스를 이용한 PE-ALD 유전층 증착 공정 및 플라즈마에 의한 데미지 개선오일권, 김태형, 염근영, 김강식, 이종훈, 이한보람, 김형준한국재료학회 2016년 가을 학술대회 1
