| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
ALCVD를 이용한 Zirconium Silicate 박막의 증착 특성|Deposition Properties of Zirconium Silicate thin Film using ALCVD 이시우, 김원규, 강상우, 이내인, 이종호, 강호규|Shi-Woo Rhee, WonKyu Kim, SangWoo Kang, Nae-In Lee, Jong-Ho Lee, Ho-Kyu Kang 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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ALCVD를 이용한 Zirconium Silicate 박막의 증착 특성|Deposition Properties of Zirconium Silicate thin Film using ALCVD 이시우, 김원규, 강상우, 이내인, 이종호, 강호규|Shi-Woo Rhee, WonKyu Kim, SangWoo Kang, Nae-In Lee, Jong-Ho Lee, Ho-Kyu Kang 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |