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Study of substrate temperature effect on FC(Fluorinated carbon) film using C4F8(Octafluorocyclobutane) precursor.
성미린, 이계영, 김규채, 이선영, 임현우
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Guard-ring 변화에 따른 Digital X-ray 검출기 성능 평가
김진영, 김규채, 반창현, 임현우, 박진구, 진승오, 전성채, 허영
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Bio chip의 양산을 위한 마이크로급 구조물을 갖는 SUS 금형제작 및 평가
조민수, 김규채, 조시형, 임현우, 조영식, 조병기, 서석영, 신상택, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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CMP conditioner의 diamond 크기, 배열, 형상 변화가 pad conditioning 공정에 미치는 영향
강봉균, 강영재, 김규채, 박진구, 이주한, 안정수, 조병권
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Fluorocarbon 박막을 이용한 스탬프 복제기술 개발
김규채, 반창현, 박지훈, 조민수, 임현우, 손성기, 이해곤, 이재숙, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Disposable Microfluidic Chip 제작을 위한 PMMA간 접합공정 개발 (Development of PMMA Bonding Process for Disposable Microfluidic Chip)
조민수, 조시형, 김진영, 반창현, 임현우, 김규채, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Vapor SAM을 이용한 점착방지막 증착조건의 최적화
김규채, 차남구, 조민수, 김진영, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가
차남구, 강영재, 김인권, 김규채, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Conditioner disk의 diamond의 형상에 따라 Polishing Pad에 미치는 영향
김규채, 강영재, 유영삼, 박진구, 원영만, 오광훈
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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ECM (ElectroChemical Machining) 공정 중 전류밀도에 따른 스텐레스 강의 Profile 특성변화
조민수, 김규채, 임현우, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
