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학술대회 목록보기

번호	제목
125	Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol 이유종, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
124	Etching of SiO₂ in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol 선은재, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
123	SiO₂ contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O₂/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
122	Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/O₂/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
121	Effects of O2 addition on etching process in heptafluoropropyl methyl ether plasmas 이유종, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
120	Angular dependence of SiO₂ etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas 선은재, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
119	Etching characteristics of fluoroether/fluoroalcohol/Ar plasmas 유상현, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
118	Effect of mixing ratio in SiO₂ etching using hydrofluoroether plasmas 선은재, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
117	Etching characteristics of SiO₂ in heptafluoropropyl methyl ether and pentafluoropropanol plasmas 이유종, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
116	Hydrofluoroether 플라즈마를 이용한 SiO₂ 식각 유상현, 김창구 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회