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A study on the roll-to-roll nanoimprint lithography system using a roll mold fabricated by applying the step-and-repeat process
김가을, 김현태, 권신
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
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3D NAND 고종횡비 구조에서의 습윤성 거동에 대한 연구
조윤종, 박진구, 김현태, 이찬희, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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EUV 마스크 표면 재료 및 carbon 오염물 간의 상호작용 및 carbon 오염물 제거를 위한 세정액 연구
송희진, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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NF3/H2O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구
이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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실리콘 웨이퍼 상 금속 오염 세정 공정 연구
이동환, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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공침법을 이용한 리튬이차전지용 고용량 LiNi0.8Co0.1Mn0.1O2양극 재료의 Ti 습식 치환에 의한 수명 개선 원인 규명에 관한 연구
이고운, 조우석, 김현태, 송준호, 조용남, 김영준, 유지상
한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
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EUV 리소그래피 공정에서 미세 오염입자에 의한 영향 및 오염입자 제거를 위한 세정공정 연구
박진구, 오혜근, 김인선, 김민수, 김현태, 이준, 최인찬, 장성해
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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NF3/H2O 플라즈마 가스를 이용한 산화막 식각 공정에서의 반응 기구 연구
이동환, 박진구, 장성해, 최인찬, 이준, 김민수, 김현태
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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Er-Yb 치환된 Yttrium-Oxyfluorides 상향변환 형광체 연구
박상문, 김현태, 노원기
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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액정 패널 제작공정 중 발생하는 submicron 오염입자 제거에 대한 FPD 세정공정의 개발 및 연구
이준, 김현태, 김민수, 박진구
한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
