| 번호 | 제목 |
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메가소닉 주파수의 변화가 나노입자제거에 미치는 영향 김혁민, 강봉균, 이승호, 김정인, 이희명, 박진구 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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반도체 세정액 내 용존 수소 가스가 웨이퍼 세정에 미치는 영향 김혁민, 강봉균, 이승호, 박진구, 최은석, 김인정, 김봉우 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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반도체 세정기술의 개발 동향 백귀종 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
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밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조 임정수, 구교욱, 최승주, 성보람찬, 조중근, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Semiconductor Cleaning for Nano Scale Device 이헌정, 이다희 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
