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SiO2용 TEOS/O2 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장의 실험적 분석
홍성택, 김교선
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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TEOS/O2 용 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장의 실험적 분석
홍성택, 김동주, 김교선
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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플라즈마 반응기에서 미립자 성장 분석을 위한 모델 결과 비교|Comparison of Model Results to Analyze the Particle Growth in Plasma Reactor
김동주,김교선|TDong-Joo Kim,Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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SiH₄플라즈마 반응기에서의 미립자 성장의 실헙적 분석|Experimental Analysis on Particle Growth in SiH₄Plasma Reactor
홍성택,김동주,김교선|Sung-Taik Hong,Dong-Joo Kim,Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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TEOS/O2 플라즈마 반응기에서 실리카 미립자 성장분석|Analysis on Silica Particle Growth in TEOS/O2 Plasma Reactor
홍성택, 김동주, 김교선|Sung-Taik Hong, Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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NOx 제거용 코로나 방전 반응기에서 미립자 성장 예측을 위한 Discrete- Sectional 모델|Discrete-Sectional Model to Predict the Particle Growth in the Corona Discharge Reactor for NOx removal
김동주,김교선|Dong-Joo Kim,Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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펄스 코로나 방전 공정에서 NOx 제거 효율 및 미립자 성장 분석|Analysis an NOx Removal Efficiencies and Particle Growth in Pulsed Corona Discharge Process
박정환,김동주,김교선|Jung-Hwan Park,Dong-Joo Kim,Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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플라즈마 반응기에서의 나노 미립자 성장 분석|Analysis on Nanoparticle Growth in Plasma Reactor
김교선,김동주|Kyo-Seon Kim,Dong-Joo Kim
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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플라즈마 반응기에서 미립자 성장 예측을 위한 discrete-sectional 모델|Discrete-Sectional Model to Predict Particle Growth in Plasma Reactor
김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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반도체 제조 공정 중의 미립자 성장 모델 연구|Analysis on Particle Growth Models in Semiconductor Fabrication Process
김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
