| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
5-nm-scale Line and Hole Patterning by Synergistic Integration of Block Copolymer Nanopatterning withe Atomic Layer Deposition 장재호, 박귀용, 남대근, 문형석 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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5-nm-scale Line and Hole Patterning by Synergistic Integration of Block Copolymer Nanopatterning withe Atomic Layer Deposition 장재호, 박귀용, 남대근, 문형석 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |