화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 반도체 공정 내 질소산화물 제거를 위한 10 CMM급 고속 오존 산화 및 중화반응 장치 설계 및 실증연구
홍기훈, 황상연, 엄성현
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회
3 반도체 폐가스처리용 분리막 모듈 시스템 배관 설계 최적화
송형운, 정희숙
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
2 반도체 폐가스 처리장치에서의 산성가스 및 입자물질 동시처리 기술 개발
이기용, 최수민, 김도훈, 정종국
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
1 반도체 폐가스처리를 위한 열플라즈마 공정 개발|Development of thermal plasma processing for treatment of the semiconductor waste gas
선종우, 박동화|Jong-Woo Sun, Dong-Wha Park
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회