| 번호 | 제목 |
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초크랄스키 실리콘 결정 결함 영역의 비파괴 분석 연구|Non-destructive evaluation techniques for Grown-in defects distribution in Czochralski silicon 배기만, 홍병섭, 이보영 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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실리콘웨이퍼의 65nm Particle 제어|Polished Silicon Wafer Cleaning - 65 nm Size Particle Control 배기만 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
