번호 | 제목 |
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10 |
암모니아 합성을 위한 저온-저압 전기화학적 질소환원 박현서 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
9 |
알카라인 조건에서의 전기화학적 질소환원 및 암모니아 합성 박현서 한국공업화학회 2017년 가을 학술대회 |
8 |
Control of the roughness on the sidewall of Si trenches during the Bosch process 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
7 |
TSV 내 구리 배선 형성을 위한 구리 무전해 도금 씨앗층의 공정조건 최적화 연구 박경주, 구효철, 김재정 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
6 |
초음속 마이크로노즐에 적합한 프로파일을 위한 공정변수의 최적화 송우진, 정규봉, 천두만, 안성훈, 이선영 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
5 |
Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas 권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
4 |
Optimization of Deep Si Etching using C4F8/SF6 and C4F6/SF6 Plasmas 권혁규, 박병훈, 김창구 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
3 |
Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas 이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
2 |
Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process 권혁규, 이형무, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
1 |
Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si 이형무, 박창한, 김창구 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |