화학공학소재연구정보센터
번호 제목
10 암모니아 합성을 위한 저온-저압 전기화학적 질소환원
박현서
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
9 알카라인 조건에서의 전기화학적 질소환원 및 암모니아 합성
박현서
한국공업화학회 2017년 가을 학술대회
8 Control of the roughness on the sidewall of Si trenches during the Bosch process
김준현, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
7 TSV 내 구리 배선 형성을 위한 구리 무전해 도금 씨앗층의 공정조건 최적화 연구
박경주, 구효철, 김재정
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회
6 초음속 마이크로노즐에 적합한 프로파일을 위한 공정변수의 최적화
송우진, 정규봉, 천두만, 안성훈, 이선영
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
5 Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas
권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
4 Optimization of Deep Si Etching using C4F8/SF6 and C4F6/SF6 Plasmas
권혁규, 박병훈, 김창구
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회
3 Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
2 Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process
권혁규, 이형무, 김창구
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
1 Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si
이형무, 박창한, 김창구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회