| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process 노해랑, 김채선, 이혜지, 박태균, 이용석, 이찬민, 윤국한, 손영우, 최원혁, 이종민 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process 노해랑, 김채선, 이혜지, 박태균, 이용석, 이찬민, 윤국한, 손영우, 최원혁, 이종민 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |