| 번호 | 제목 |
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3.3 kV급 이상 고전압 전력반도체 소자 개발을 위한 단위공정 최적화를 위한 식각공정 분석 최규철, 김덕열, 김봉환, 장상목 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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HCl-기반 습식 식각을 통한ZnO 나노튜브 형성 연구 김범식, 임상우 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 56 |
Metal-assisted electrochemical etching을 이용한 germanium의 선택적 습식 식각 이승효, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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인산 기반 용액을 이용한 Si3N4/SiO2 선택적 식각의 고온에서의 경향 연구 박태건, 김태현, 손창진, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
| 54 |
면 결정 방향에 따른 β-Ga2O3의 습식 식각 특성 연구 김만경, 신호성, 장수환 한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
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β-Ga2O3의 photo-enhanced chemical 식각 공정에 따른 전기적 특성 분석 손종하, 권용범, 이건엽, 김지현 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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반도체 습식 세정 기술 개발 동향 및 계면화학을 응용한 세정제 개발 송명근 한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
| 51 |
면 결정 방향에 따른 β-Ga2O3의 습식 식각 특성 비교 정선우, 백광현, 장수환 한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
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Plasma etching for the fabrication of slanted Si rods as low reflection surfaces 김준현, 김창구 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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NF3/H2O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구 이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
