화학공학소재연구정보센터
번호 제목
30 700um/h 식각 성능을 가진 이온밀러를 이용한 구조 재료 단면가공
김용주
한국재료학회 2021년 가을 학술대회
29 재귀 신경망 네트워크 모델에 기반한 플라즈마 system identificaiton
최솔지, 하대근, 구준모, 박담대, 한종훈
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
28 유기산이 글라스 식각에 미치는 특성 연구
홍석환, 이원규
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
27 Si 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 금속 오염물 및 오염 입자 제거를 위한 세정공정 연구
송희진, 박건호, 장성해, 김민수, 박진구
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
26 Fabrication of Large Area Nano-Photonic Structure by Using Nano-Imprinting process for High-Temperature Applications
박금환, 김종무, 주병권, 김영석
한국공업화학회 2016년 가을 학술대회
25 NF3/H2O 플라즈마 가스를 이용한 산화막 식각 공정에서의 반응 기구 연구
이동환, 박진구, 장성해, 최인찬, 이준, 김민수, 김현태
한국재료학회 2015년 가을 학술대회
24 TMAH용액을 이용한 실리콘 이방성 식각  (The silicon anisotropic etching by a TMAH solution)
전기화, 김정식
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
23 Glass 식각공정의 최적화 방안 마련을 위한 Chemistry 연구  
문미화, 김동호, 나종주
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
22 유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각
김성희, 전민환, 염근영
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
21 Study of High SelectiveSilicon Nitride/Silicon Oxide Etching
배진성, 오지숙, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회