번호 | 제목 |
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30 |
700um/h 식각 성능을 가진 이온밀러를 이용한 구조 재료 단면가공 김용주 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
29 |
재귀 신경망 네트워크 모델에 기반한 플라즈마 system identificaiton 최솔지, 하대근, 구준모, 박담대, 한종훈 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
28 |
유기산이 글라스 식각에 미치는 특성 연구 홍석환, 이원규 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
27 |
Si 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 금속 오염물 및 오염 입자 제거를 위한 세정공정 연구 송희진, 박건호, 장성해, 김민수, 박진구 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
26 |
Fabrication of Large Area Nano-Photonic Structure by Using Nano-Imprinting process for High-Temperature Applications 박금환, 김종무, 주병권, 김영석 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
25 |
NF3/H2O 플라즈마 가스를 이용한 산화막 식각 공정에서의 반응 기구 연구 이동환, 박진구, 장성해, 최인찬, 이준, 김민수, 김현태 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
24 |
TMAH용액을 이용한 실리콘 이방성 식각 (The silicon anisotropic etching by a TMAH solution) 전기화, 김정식 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
23 |
Glass 식각공정의 최적화 방안 마련을 위한 Chemistry 연구 문미화, 김동호, 나종주 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
22 |
유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각 김성희, 전민환, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
21 |
Study of High SelectiveSilicon Nitride/Silicon Oxide Etching 배진성, 오지숙, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |