| 번호 | 제목 |
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3D NAND 구조내의 Si3N4의 선택적 식각을 통한패턴 SiO2 식각 제어 손창진, 김태현, 박태건, 임상우 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
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3D NAND 식각 기술에 적용될 신규 L-HFC 식각 기술 연구 탁현우, 성다인, 홍인표, 문룡, 김동우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 26 |
비인산계 용액 내 Si3N4/SiO2 선택적 식각 반응 및 첨가제의 영향 연구 손창진, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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3D NAND에서 Si3N4 선택적 식각 중 발생하는 산화물 재성장 현상 연구 김태현, 손창진, 박태건, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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인산 기반 용액을 이용한 Si3N4/SiO2 선택적 식각의 고온에서의 경향 연구 박태건, 김태현, 손창진, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
| 23 |
습식 공정 중 InGaAs 반도체의 표면 반응 연구 나지훈, 임상우 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
| 22 |
첨가제를 이용한 SiO2 식각 속도 억제 및 Si3N4/SiO2 식각 선택비 향상 김태현, 임상우 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
| 21 |
중성빔을 이용한 블록공중합체 식각 특성연구 박진우, 윤덕현, 김두산, 염근영 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
| 20 |
유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각 김성희, 전민환, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
| 19 |
BCl3 Gas와 Ar Neutral Beam을 이용한 High-k Dielectric Material의 초정밀 저손상 원자층 식각 김찬규, 민경석, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
