| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
초임계 이산화탄소를 이용한 미세전자기계시스템의 식각, 세정, 건조 연속 공정 민선기, 한갑수, 유성식 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
| 1 |
Continuous process for the etching and drying of MEMS using high pressure CO2 민선기, 한갑수, 유성식 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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| 2 |
초임계 이산화탄소를 이용한 미세전자기계시스템의 식각, 세정, 건조 연속 공정 민선기, 한갑수, 유성식 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Continuous process for the etching and drying of MEMS using high pressure CO2 민선기, 한갑수, 유성식 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |