화학공학소재연구정보센터
번호 제목
14 첨가제를 통한 인산의 Si3N4/SiO2 선택적 습식 에칭 능력 향상
손창진, 임상우
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회
13 이종금속의 촉매작용을 이용한 이방성 실리콘 에칭에 관한 연구
임철현, 백수웅, 송진호, 이석호
한국공업화학회 2014년 가을 학술대회
12 대면적 플랙시블 박판글라스 제조 장비의 개발
김정호, 김호태, 김진배
한국공업화학회 2014년 가을 학술대회
11 NH3가스 정제 및 이를 이용한 NH4F 합성연구
김영덕, 이철우
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회
10 Si-wafer의 wet etching시 표면특성변화에 미치는 etching 속도의 영향
김준우, 서승국, 김범준, 이현용, 이윤관, 이상현, 고성우, 노재승
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
9 nMOS capping layer La2O3의 습식 에칭 kinetics 및 mechanism 연구
오지숙, 배진성, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
8 Si wafer의 wet etching 시 etching속도에 미치는 온도 영향
이현용, 서승국, 노재승, 고성우
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
7 화학적 에칭법을 이용한 연삭 공정을 거친 실리콘 웨이퍼의 파쇄층 제거 및 거칠기 향상
이동헌, 구교헌, 서승국, 안재상, 노재승, 박승식
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
6 초임계 이산화탄소를 이용한 반도체 웨이퍼 막질의 선택적 건식 에칭
정재목, 정유선, 박성열, 임권택
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
5 플라즈마 에칭을 이용한 나노임프린트 패턴의 실리콘 복제
이동일, 최대근, 정준호, 이응숙, 최준혁
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회