번호 | 제목 |
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14 |
첨가제를 통한 인산의 Si3N4/SiO2 선택적 습식 에칭 능력 향상 손창진, 임상우 한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
13 |
이종금속의 촉매작용을 이용한 이방성 실리콘 에칭에 관한 연구 임철현, 백수웅, 송진호, 이석호 한국공업화학회 2014년 가을 학술대회 |
12 |
대면적 플랙시블 박판글라스 제조 장비의 개발 김정호, 김호태, 김진배 한국공업화학회 2014년 가을 학술대회 |
11 |
NH3가스 정제 및 이를 이용한 NH4F 합성연구 김영덕, 이철우 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
10 |
Si-wafer의 wet etching시 표면특성변화에 미치는 etching 속도의 영향 김준우, 서승국, 김범준, 이현용, 이윤관, 이상현, 고성우, 노재승 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
9 |
nMOS capping layer La2O3의 습식 에칭 kinetics 및 mechanism 연구 오지숙, 배진성, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
8 |
Si wafer의 wet etching 시 etching속도에 미치는 온도 영향 이현용, 서승국, 노재승, 고성우 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
7 |
화학적 에칭법을 이용한 연삭 공정을 거친 실리콘 웨이퍼의 파쇄층 제거 및 거칠기 향상 이동헌, 구교헌, 서승국, 안재상, 노재승, 박승식 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
6 |
초임계 이산화탄소를 이용한 반도체 웨이퍼 막질의 선택적 건식 에칭 정재목, 정유선, 박성열, 임권택 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
5 |
플라즈마 에칭을 이용한 나노임프린트 패턴의 실리콘 복제 이동일, 최대근, 정준호, 이응숙, 최준혁 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |