| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
Super-Cycle 기반의 ALD TaAlN 금속 박막 형성 및 특성 최문석, 이주현, 김민혁, 김위남, 최창환 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 1 |
낮은 일함수 적용을 위한 원자층 증착법으로 형성된 TaAl 금속 전극 김위남, 최문석, 이주현, 김민혁, 최창환 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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| 2 |
Super-Cycle 기반의 ALD TaAlN 금속 박막 형성 및 특성 최문석, 이주현, 김민혁, 김위남, 최창환 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 1 |
낮은 일함수 적용을 위한 원자층 증착법으로 형성된 TaAl 금속 전극 김위남, 최문석, 이주현, 김민혁, 최창환 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |