| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
저압 플라즈마를 이용한 PECVD 공정 부산물 처리 유훈아, 신원규, 허민, 강우석, 송영훈, 이재옥 한국공업화학회 2012년 가을 학술대회 |
| 1 |
Abatement of CF4 and CHF3 using low-pressure plasmas generated by annular-shaped electrodes 허민, 이재옥, 유훈아, 송영훈 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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| 2 |
저압 플라즈마를 이용한 PECVD 공정 부산물 처리 유훈아, 신원규, 허민, 강우석, 송영훈, 이재옥 한국공업화학회 2012년 가을 학술대회 |
| 1 |
Abatement of CF4 and CHF3 using low-pressure plasmas generated by annular-shaped electrodes 허민, 이재옥, 유훈아, 송영훈 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |