번호 | 제목 |
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Plasma를 통한 기판 전처리가 구리 박막 성장에 미치는 영향 진성언, 최종문, 이도한, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
4 |
Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어가스가 박막성장에 미치는 영향 최종문, 이도한, 진성언, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
3 |
High frequency and high power PECVD를 이용한 thin film solar cell용 microcrystalline Si 증착 이승무, 김영석, 한문형, 변동진 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
2 |
금속 Zn 타겟을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링 ZnO의 온도 및 산소분압에 따른 전기적 특성의 변화 김영석, 장삼석, 이승무, 박지훈, 변동진 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
1 |
CVD를 이용한 Cu 증착 시 plasma 전처리로 인한 구조적 특성의 비교 분석 진성언, 변동진, 이승무, 박지훈, 이도한, 최종문, 김창균, 정택모 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |