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Polymer stamp를 이용한 3D구조의 RT-NIL 공정 개발 박정갑, 김남정, 이창형, 이광근, 장주희, 최우성, 정근희, 서수정 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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FABRICATION OF STAMP FOR NANOIMPRINT PROCESS USING NANOSPHERE LITHOGRAPHY 박정갑, 정근희, 이창형, 주범석, 서수정, 이광근 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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3D Interconnection을 위한 관통홀 Cu 전해도금법 강치구, 정근희, 김장현, 염광섭, 이용호, 박정갑, 서수정 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Nanosphere Lithography(NSL)를 이용한 Si master제작 (Fabrication of Si master by Nanosphere Lithography) 박정갑, 정근희, 강치구, 이창형, 서수정 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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UV-Nano imprint Lithography를 이용한 Metal Pattern제작 박정갑, 이병규, 이두현, 정근희, 김진수, 이창형, 서수정 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Embedded Resistor를 위한 Ta-N-Ag박막의 Passivation layer의 조건에 따른 특성 박세영, 박인수, 정근희, 서수정 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Magnetic Properties of The Co-Pt Thin Film on The Ru(0002)/FCC(111) Seed Layers 김진수, 정근희, 박인수, 서수정 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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전해 도금 법을 이용한 수직 자기 기록 매체용 Co-Pt 박막의 자기적 특성(Magnetic property of electroplated Co-Pt thin film for perpendicular magnetic recording) 이창형, 정근희, 박인수, 김현기, 박정갑, 서수정 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Nano imprint Lithography를 이용한 Nano Dot Array제작(Fabrication of Nano Dot Array by NIL) 박정갑, 이병규, 이두현, 정근희, 서수정 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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TCR Stability of Ta2N5+x-Ag Nanocomposite Thin Film for Embedded Resistor 박인수, 박세영, 정근희, 나석민, 서수정 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |