| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Sequential removal of ligands from TiCl4 on SiO2 surface during atomic layer deposition: a DFT study 박정우, 문지원, 진유성, 박형순, 정성웅, 송봉근 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Sequential removal of ligands from TiCl4 on SiO2 surface during atomic layer deposition: a DFT study 박정우, 문지원, 진유성, 박형순, 정성웅, 송봉근 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |