| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Reactive sputtering에 의한 AlN 성막에 있어서의 Pulsed DC substrate bias 인가 효과 석혜원, 김세기, 강양구, 이영진, 정하익, 주병권 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Reactive sputtering에 의한 AlN 성막에 있어서의 Pulsed DC substrate bias 인가 효과 석혜원, 김세기, 강양구, 이영진, 정하익, 주병권 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |