학술대회 목록보기 번호 제목 1 HMDS 소스와 C2H2 희석기체를 이용하여 PECVD로 증착한 비정질 SiC막의 유전상수 변화조성혁, 최두진, 김태송한국재료학회 2007년 가을 학술대회 1
