| 번호 | 제목 |
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CuⅡ (dmamb)2 전구체를 이용한 전해도금용 구리 씨앗층의 원자층 증착에 관한 연구 진광선, 박재민, 박광민, 이원준 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Cyclopentadienylcobalt dicarbonyl을 이용한 Cobalt Oxide 박막의 저온 원자층 증착 공정 최규하, 진광선, 한별, 이원준 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Quartz Crystal Microbalance(QCM, GaPO4 sensor)을 활용한 Tris-PYS(TPS) precursor의 Silicon Oxide 원자층 증착 메카니즘 분석에 관한 연구 박재민, 진광선, 박광민, 이원준 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
