화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 챔버 내구성 향상을 위한 코팅층 열응력 해석
정희숙, 송형운
한국공업화학회 2016년 가을 학술대회
2 니켈합금 열용사 코팅을 적용한 반도체 스크러버 챔버의 내구성 평가
정희숙, 송형운
한국공업화학회 2016년 가을 학술대회
1 열플라즈마 공정에 의한 반도체 유해가스 처리 및 금속 나노분말 제조
최경수, 박동화
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회