| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 70 |
높은 내식각성을 갖는 EUV lithography(EUVL)용 고불소화 주석산화물 레지스트의 합성 및 리소그래피 특성 평가 안형주, 우지훈, 구예진, 이진균 한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 |
| 69 |
반도체 제조용 희유가스(Xe/Kr)농축을 위한 초저온 공정모델링및 개념설계 김영훈, 윤주웅, 전상훈, 오승우, 황혜정, 이지성, 김종신, 이만제, 이만수 한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
| 68 |
수용성 포토레지스트 합성 및 포토리소그래피 패턴 형성 유정우, 이수빈, 최재학 한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
| 67 |
Photoacid generator가 포함된 광경화성 전구체 기반 자가패턴 가능한 용액 공정형 Zinc Tin 산화물 트랜지스터 연구 최건오, 안태규, 김재영, 정용진 한국고분자학회 2021년 가을 학술대회 |
| 66 |
불소화 고분자 소재 기반 극자외선 레지스트 개발 이진균, 오현택, 구예진, 김강현, 이상설 한국고분자학회 2021년 봄 학술대회 |
| 65 |
스핀 코팅 공정의 전산 유체 역학 시뮬레이션 및 실증적 모델링 김승준, 박진홍, 허근 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
| 64 |
반도체 클린룸의 AMCs 제거용 이온 교환 복합 필터 제조와 황화수소 및 암모니아 흡착 특성 연구 안이삭, 김정훈, 민수빈, 강호철, 서정권, 이평수 한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
| 63 |
반도체 클린룸 내 황화수소 및 암모니아 제거를 위한 폴리스티렌계 이온 교환 케미컬 필터 개발 안이삭, 김정훈, 강호철, 민수빈, 이평수 한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
| 62 |
반도체 클린룸의 AMCs 제거용 다공성 양이온교환 복합필터 제조와 황화수소 및 암모니아 흡착 특성 연구 안이삭, 민수빈, 강호철, 서정권, 이평수, 김정훈 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
| 61 |
반도체 Advanced Packaging용 Photo-definable 절연막 상용화 기술 개발 김봉규, 이종찬 한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
