학술대회 목록보기 번호 제목 1 SF6/O2/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 폴리머의 반응성 이온 식각에 관한 연구주영우, 김재권, 박연현, 노호섭, 이제원한국재료학회 2008년 가을 학술대회 1
