학술대회 목록보기 번호 제목 1 3D NAND 식각 기술에 적용될 신규 L-HFC 식각 기술 연구탁현우, 성다인, 홍인표, 문룡, 김동우, 염근영한국재료학회 2020년 봄 학술대회 1