| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Poly Si Wafer의 표면 특성변화에 따른 CMP 공정 후 오염 Mechanism의 규명 강봉균, 박진구, 강영재, 조병권, 홍의관, 한상엽, 윤성규, 윤보언, 홍창기 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Poly Si Wafer의 표면 특성변화에 따른 CMP 공정 후 오염 Mechanism의 규명 강봉균, 박진구, 강영재, 조병권, 홍의관, 한상엽, 윤성규, 윤보언, 홍창기 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |