| 11 |
3D NAND 식각 기술에 적용될 신규 L-HFC 식각 기술 연구
탁현우, 성다인, 홍인표, 문룡, 김동우, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 10 |
중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구
장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 9 |
고내성 스핀코팅 하드마스크용 유기고분자소재
조요한, 이지훈
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
| 8 |
HARC 식각을 위한 pulsed triple frequency 효과에 대한 연구
양경채, 김수강, 이호석, 성다인, 염근영
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 7 |
Effect of the dual synchronous pulsed plasma on the etch characteristics of SiO2
이호석, 양경채, 박성우, 염근영
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
| 6 |
Control of the contact hole diameter in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas
조성운, 김창구
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
| 5 |
CCP (Capacitively Coupled Plasma)-type Reactor에서 VHF (Very High Frequency) Generator를 이용한 ACL (Amorphous Carbon Layer)에 관한 식각 특성연구
권용현, 신경섭, 황기현, 염근영
한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
| 4 |
Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO2의 식각특성에 관한 연구
염근영, 전민환, 김회준
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
| 3 |
Materials of Spin-on Hardmask for Sub-70nm Device Fabrication
이정훈, 이창호, 김영호, 윤호규
한국고분자학회 2009년 봄 학술대회 |
| 2 |
Effect of mechanical strain on in vitro behavior of mesenchymal stem cells
최경민, 서영권, 윤희훈, 송계용, 권순용, 이화성, 박용순, 김영진, 박정극
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
