| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구 김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
| 1 |
Characteristics of C3F6O/O2 plasmas for chamber cleaning Sung Woo Park, Kyung Che Yang, Geun Young Yeom 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구 김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Characteristics of C3F6O/O2 plasmas for chamber cleaning Sung Woo Park, Kyung Che Yang, Geun Young Yeom 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |