번호 | 제목 |
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1 |
Very High Frequency Plasma - Enhanced 원자층 증착법을 통한 순수 코발트 박막 특성 연구 송창훈, 염원균, 이수정, 탁현우, 변지영, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Very High Frequency Plasma - Enhanced 원자층 증착법을 통한 순수 코발트 박막 특성 연구 송창훈, 염원균, 이수정, 탁현우, 변지영, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |