| 번호 | 제목 |
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Direct liquid injection ? metal organic chemical vapor deposition 공정을 이용한 BLT 강유전체 박막의 증착|The deposition of ferroelectric BLT film using direct liquid injection-metal organic chemical vapor deposition process 강상우,이시우|Sang-Woo Kang,Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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DLI-MOCVD공정을 이용한 SBT 박막 증착 및 전구체 특성평가|Deposition of SBT Thin Films using DLI-MOCVD Process and Evaluation of Precursors 강상우, 양기정, 용기중, 이시우|Sang-Woo Kang, Kee-Jeong Yang, Ki-jung Yong, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
