| 번호 | 제목 |
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대면적 ECR 플라즈마 소스를 이용한 배선공정용 구리시드막 증착 장수욱, 유현종, 김영우, 정용호, 황인욱, 박재양, 이헌 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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ECR 플라즈마 반응기의 2차원 전산모사|A Two Dimensional Simulation of an ECR Plasma Reactor 남상기, 신치범|S. K. Nam, C. B. Shin 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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ECR 플라즈마 반응기 내에서의 전달현상|Transport Phenomena in an ECR Plasma Reactor 허진석, 신치범, 오수기|J.S. Huh, C.B. Shin, S.G. Oh 한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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ECR플라즈마를 이용한 화학증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 전기적특성|Electrical Characteristics of Silicon Oxide Films Prepared by Chemical Vapor Deposition Method Using ECR Plasma 전법주, 허정수, 오인환*, 임태훈*, 윤용수, 정일현|Bup-Ju Jeon, Jung-Soo Heo, In-Hwan Oh*, TaeHoon Lim*, Yong-Soo Youn, Il-Hyun 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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ECR 플라즈마를 이용한 화학증착법및 건식산화법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성 전법주, 허정수, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현 한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
