| 187 |
3D Feature profile simulation toward next generation high aspect ratio contact hole etching process under fluorocarbon and additive gas plasma
박재형, 유혜성, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 186 |
Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process
노해랑, 김채선, 이혜지, 박태균, 이용석, 이찬민, 윤국한, 손영우, 최원혁, 이종민
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 185 |
Synthesis of one-dimensional silica/titania hollow nanorod and its electrorheological performance
제갈석, 윤창민
한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
| 184 |
The synthesis process of new 2D material MXene: Manganese carbide Mn2C
Ngoc Bao Tran, 강영종
한국고분자학회 2021년 봄 학술대회 |
| 183 |
Self-assembled clusters of ultra-smooth gold nanospheres
박성훈, Wang Ke, 이기라
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 182 |
Development of Robust Endpoint Detection Algorithm for Cyclic Plasma Etching Process
김채선, 이혜지, 박태균, 선종우, 노해랑, 이종민
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 181 |
Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Modified Clustering Method
이성현, 채희엽
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 180 |
Effects of O2 addition on etching process in heptafluoropropyl methyl ether plasmas
이유종, 김창구
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 179 |
3D Feature profile simulation of oxygen effects in plasma oxide etching process
박재형, 유혜성, 장원석, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 178 |
The development of SiO2 hole pattern fabrication using photoresist without etching for the selective area growth of GaN
안민주, 변동진, 심규연, 강성호, 김효종, 김화영
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
