| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Study of etching rate according to the type of oxidizers and concentration of each oxidizer in tungsten CMP 최지호, 김동협, 정기쁨, 박재근 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Study of etching rate according to the type of oxidizers and concentration of each oxidizer in tungsten CMP 최지호, 김동협, 정기쁨, 박재근 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |