| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Study on a new microwave remote plasma source for high flow rate(20 slm) F-radical generation 추원일, 유현종 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
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Study on a new microwave remote plasma source for high flow rate(20 slm) F-radical generation 추원일, 유현종 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |