| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Angular distributions etch products from the bottom substrate in fluorocarbon plasmas 이진관, 이겨레, 민재호, 문상흡 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Angular distributions etch products from the bottom substrate in fluorocarbon plasmas 이진관, 이겨레, 민재호, 문상흡 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |