| 번호 | 제목 |
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Multi-Density Structure of Al2O3 as a Moisture Permeation Barrier by Spatial Atomic Layer Deposition at Low Temperature 권세진, 신석윤, 최형수, 박현우, 방민욱, 이남규, 전형탁 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Gas Injector Effect on Gas Flow Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주, 채환국 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
