| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Preparation of TaN thin film By H2 Plasma Assisted Atomic Layer Deposition usingTert-butylimino-tris-ethylmethylamino tantalum 김등관, 김도형 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Preparation of TaN thin film By H2 Plasma Assisted Atomic Layer Deposition usingTert-butylimino-tris-ethylmethylamino tantalum 김등관, 김도형 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |